真空泵安装
⑴真空泵应安装在地面结实坚固的场所，周围应留有充分的余地，便于检查、维护、保养。
⑵真空泵底座下应保持地基水平，底座四角处建议垫减震橡皮或用螺栓浇制安装，确保真空泵运转平稳，振动小。
⑶真空泵与系统的连接管道应密封可靠，对小真空泵可采用金属管路连接密封垫采用耐油橡胶，对小真空泵可采用真空胶管连接，管道管径不得小于真空泵吸气口径，且要求管路短而少弯头。（焊接管路时应清除管道中焊渣，严禁焊渣进入真空泵腔。）
真空泵干泵
国外干泵市场的不断增长，其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本，半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵，欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵，大大提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求，国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa～10-2Pa，抽速从20m3/h～500m3/h。
真空泵开机前应做好哪些准备？
1.清理杂物。
首先要清除真空泵中的尘土，其次是管子中的尘土杂物，尤其是焊接残渣，保证清洁，防止进入泵中造成堵塞卡死。
2.检查真空泵各个部件是否齐全。
检查吸气口和排气口是否正确上紧，所有管路是否安装无误，同时检查冷却水管是否正常。
3.保证齿轮箱润滑油在标准油位。
在不同油位视镜处检查油位，确认油位在油位视镜中线偏上约3mm处，螺杆真空泵的齿轮箱中油过少容易导致齿轮、轴承润滑不足、咬死；过多则容易引起润滑油温度过度升高，导致齿轮噪音或对其他部件的影响。因此，需要注意将油位长期保持在合理范围内。
4.注意冷却水量是否按要求配置。
螺杆真空泵通过水冷夹套对泵体进行冷却，各个型号的冷却水量也有所不同，实际开机前要根据对应型号要求以及环境情况，保证冷却水量是否满足配置需要。
5.检查确认真空机组各个阀门的状态。
工艺入口阀关闭、入口过滤器排污阀关闭、出口管线畅通，出口管排污阀打开、冷却水入口管线和出口管线阀门打开、氮气线阀门打开，吹扫气压力为0.5bar，氮封气压力为3bar，吹扫阀关闭。