数据处理
CD测量数据。一般CD Uniformity测试数据是一个矩阵。测量点数有7×7.9x9.11×11或13×13.CD测量数据一般分 方向和Y方向的数据。由于曝光机的特性，通常Y方向的CD精度高于 方向的精度。所以在做显影机！性能指标分析时，采用Y方向的CD值分析。数据分析软件。该软件是一个Excel文档，通过执行文档中的宏命令对CD数据矩阵分析，分离出各种因素对CD均匀性的影响。通常CD均匀性可分解成径向误差，侧向误差和随机误差。显影技术基本知识显影技术：感光片经过曝光后，在乳剂膜的感光层上，是看不到有任何可以觉察得到的变化。由于我们的显影设备是旋转式喷淋，所以我们需分离出径向误差加以分析，通过一定补偿方法提高CD均匀性指标。
感光材料中未见光部分，在显影后往往也会出现一定程度的致黑现象，这就是灰雾。使用抑制剂的主要目的是抑制灰雾的产生。显影液中常加入化钾作为，又称防灰雾剂。灰雾形成的原因很多，有些是在乳剂制备过程中产生的，也有些是因包装或应用过程中意外露光而产生的。不同的物质通过对不同波长紫外光的吸收，分子会发生能级跃迁，从基态跃迁至激发态，改变物质化学性能。
化钾能抑制灰雾的原因主要有两个方面：
化钾在溶液中电离：
根据“胶粒总是选择吸附与其组成相类似离子”的原则，离子比显影剂负离子优先吸附在化银晶体表面，形成一个起障碍作用的负电层，这就阻止了带负电荷的显影剂离子接近卤化银的表面，从而防止了未曝光的卤化银
定影剂
定影剂是指能够与乳剂层中的卤化银反应，生成易溶于水的稳定络合物的物质。定影主要是由定影液中的定影剂完成的，定影剂必须具备如下条件：能与卤化银中的某一种离子生成稳定的化合物，这种化合物易溶于水，能迅速地从乳剂层中溶到水中，而且在水中的电离程度比卤化银离解程度要小。理想的定影剂只能溶解卤化银，对金属银应该没有溶解作用。例如Na,SO，和SnCl，等化学上都是很好的还原剂，可是由于亚硫酸钠还原卤化银的速度太慢。